Adelgazadores iónicos para microscopia electronica

Equipos de Adelgazamiento basados en el lanzamiento de iones (Ion Mill)


El adelgazamiento iónico es una técnica muy utilizada para la preparación de muestras de microscopía electrónica de transmisión. Consiste en el bombardeo de iones de argón para modificar la superficie de una muestra retirando material. El lanzamiento de iones se realiza mediante cañones que aceleran los iones para que impacten contra la superficie de la muestra con un ángulo de ataque controlado. De esta forma, un bajo ángulo de incidencia de los iones con la superficie de la muestra retira material de la superficie de forma gradual a nivel atómico, limpiando y puliendo la muestra. También pueden realizarse modificaciones en la superficie para mejorar el contraste o destacar microestructuras trabajando con altas dosis de energía y ángulos de hasta 90º. Por tanto, la técnica del adelgazamiento iónico elimina de forma efectiva contaminación y material deformado mecánicamente, produciendo superficies libres de artefactos para su observación en SEM, TEM y microscopía óptica.

Además, la técnica del adelgazamiento iónico puede utilizarse directamente para preparar secciones transversales cuando se trabaja con materiales de difícil sección vía mecánica, solucionando los problemas que se pueden producir al realizar corte.

Desde hace más de 50 años la firma Fischione Instruments diseña, desarrolla y fabrica equipos de preparación de muestras para Microscopía Electrónica de Transmisión (TEM).

El primer adelgazador iónico fabricado por Fischione aportó una nueva dimensión en la técnica, al ser el primero del mercado que utilizó una base computerizada para asegurar la mejor gestión de la alta tensión. De esta forma se podían producir lanzamientos de iones de baja energía y poco ángulo de ataque.

Esta técnica, poco a poco asumida por otros fabricantes, ha permitido la creación de muestras libres de artefactos preparadas para la observación por los microscopios electrónicos de transmisión de alta resolución de última generación con doble corrección de aberración. 

Junto con los adelgazadores iónicos de haz ancho, Fischione Instruments fabrica equipos de adelgazamiento iónico de haz estrecho con diámetros menores de 1μm y energías de aceleración inferiores a 50 eV.

La tecnica del ionmilling sirve para preparar secciones planares (transparentes a los electrones) para su observacion en microscopia electronica de transmision
Diagrama de un sistema de adelgazamiento iónico de preparación muestras TEM

Equipos de Adelgazamiento Iónico



Adelgazadores Iónicos de Haz Ancho

Fischione ofrece dos equipos de adelazamiento iónico de haz ancho para la preparación de muestras para su observación por microscopía electrónica de transmisión o barrido.


Adelgazador TEM Mill - 1051


El Adelgazador iónico 1051 TEM Mill ha sido diseñado para la preparación efectiva de muestras para microscopía electrónica de transmisión.

Cuenta con dos fuentes de iones de ajuste independiente con tecnología TrueFocus que aporta la ventaja de controlar el diámetro de los haces de iones en todo el rango de energías de aceleración (100 eV a 10 keV).

El ángulo de ajuste del bombardeo iónico es ajustable en el rango de -15 a 10º

Utiliza una pantalla táctil de 10" para el control de todas las variables del proceso.

El soporte de muestras ofrece ajuste X-Y, y ofrece opciones de visibilización y captura de imagen durante el bombardeo.


El Adelgazador Ionico TEM Mill ha sido diseñado para la preparación efectiva de muestras TEM
Adelgazador Iónico 1051 TEM Mill


Adelgazador SEM Mill - 1061


El adelgazador SEM Mill presenta la última tecnología incluida en el modelo de transmisión pero adaptado a la preparación de muestras de microscopía electrónica de barrido.

Ofrece una cámara con capacidad para trabajar con muestras de hasta 25mm de alto y 32mm de diámetro.

Además de aportar las ventajas de la tecnología patentada TrueFocus, el equipo cuenta con opciones de transferencia de muestra en vacío o atmósfera controlada para la introducción y salida de muestras del equipo

Al igual que en su hermano de transmisión, el adelgazador iónico mantiene la cámara de proceso bajo vacío durante todo el proceso. Esto hace que no sea necesario romper el vacío durante la carga y descarga de la muestra, agilizando mucho el proceso.


Adelgazador Iónico 1061 SEM Mill


Adelgazador WaferMillTM - 1063

Fruto del intenso trabajo con la industria de los semiconductores Fischione Instruments desarrolló una solución para la preparción automática por adelgazamiento iónico de waffers de hasta 300mm de diámetro.

La preparación convencional de muestras durante el proceso de fabricación de semiconductores para su observación en microscopía electrónica de barrido hace que sea necesario realizar adelgazamiento iónico sección a sección de un wafer para determinar las dimensiones críticas. Es decir, es necesario cortar el wafer para su procesamiento y posterior observación.

El WaferMill 1063 pone fin a ese lento proceso y permite automatizar todo el proceso de preparación de un wafer completo de hasta 300mm.


Más información

Preparacion completa de wafer mediante adelgazamiento ionico para determinaciones de dimensiones criticas
Adelgazador Iónico 1063 Wafer Mill



Adelgazadores Iónicos de Haz Estrecho

Fischione Instruments ha desarrollado una nueva generación de equipos diseñados para la preparación integral de muestras de alta calidad para microscopía electrónica de transmisión y que son ideales para el tratamiento POST-FIB

Adelgazador NANOMill® - 1040

Desarrollado para trabajar con energías ultra bajas el NanoMill se basa en tecnología de lanzamiento de iones que produce un haz de plasma con diámetro inferior a 1 µm y voltajes de aceleración de tan bajos como 50 eV. Su utilización es ideal tanto para el tratamiento POST-FIB como para la mejora de muestras preparadas de forma convencional.

Su diseño permite la preparación de muestras sin la creación de amorfos ni peligro de redeposición. El haz de iones puede apuntarse a cualquier área específica de la muestra. Se utiliza un detector de electrones para visualizar los electrones secundarios que han sido inducidos en la zona tratada de la muestra.

El sistema NanoMIll es fácilmente programable. En todo momento se pueden ajustar las energía del haz de iones, los ángulos de bombardeo, la velocidad de rotación de la muestra y los parámetros de configuración criogénica de la muestra para ofrecer la mayor flexibilidad en la preparación de muestras.


Más información

Generacion de adelgazadores ionicos de haz estrecho con capacidad de tratar zonas de la muestra de microscopia electronica de transmisión
Sistema Preparación Muestras
TEM  NanoMill 1040


Sistema PICOMill® - 1080

El sistema de preparación de muestras PicoMill es la apuesta más completa del mercado para la preparación de muestras de microscopía electrónica de transmisión. La tecnología FIB (Focus Ion Beam) se utiliza desde hace años para la sección de muestras para su observación por TEM. El desafío de trabajar con materiales en FIB es el de producir muestras transparentes al paso de los electrones sin artefactos que dificulten o impidan su correcta visualización.

El sistema PicoMill es ideal para complementar el trabajo con FIB ofreciendo un sistema predecible y preciso de preparación que evita la variabilidad en el resultado.

El PicoMill utiliza gas argón para la creación de haces de iones con energía de aceleración ultra reducida con voltajes en el rango de 50 eV a 2kV. El pequeño diámetro del haz de plasma (inferior a 1µm) permite la selección del área de adelgazamiento evitando la posible redeposición. La posición del cañón es fija variando el ángulo de incidencia con el goniómetro situado en el soporte de la mesa, con un rango de ajuste desde -15º a 90º. El software se encarga del posicionamiento del ángulo de la muestra así como la posición X, Y y Z para orientar de forma precisa la muestra y seleccionar el punto de ataque.

Para garantizar la visualización del área de la muestra que se quiere tratar se ha dotado al sistema PICOMill de diferentes detectores:
  • Detector de electrones retrodispersados (BSE)
  • Detector de electrones secundarios (SED)
  • Detector de electrones de transmisión y barrido (STEM)
La combinación detectores permite visualizar la muestra antes, durante y despues del adelgazamiento iónico. Puede observarse también la rejilla con la lamela FIB o cualquier soporte de muestras preparadas de forma convencional.


Adelgazador ionico de haz de estrecho con detector de electrones retrodispersados, secundarios, TEM y SEM
Sistema Preparación de Muestras
TEM 1080 NanoMill

Aname Instrumentación Científica

Aname Instrumentacion Cientifica

ANAME, Instrumentación Científica es uno de los principales suministradores de equipos de preparación de muestras y consumibles para microscopía electrónica en Europa. Suministramos todo tipo de componentes y accesorios para laboratorios de preparación de muestras de microscopía electrónica de transmisión y de barrido. Somos verdaderos entusiastas de la tecnología y ofrecemos la mayor variedad de equipos, consumibles y accesorios soportados por los mejores fabricantes y el mejor equipo científico con años de formación en la materia. Si necesita consejo o ayuda en cualquier aspecto sobre cómo mejorar la preparación de muestras para microscopía electrónica, estamos seguros que podemos ayudarle.

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