La limpieza por plasma es un método probado, efectivo, económico, seguro y respetuoso con el medio ambiente de preparar una superficie delicada. La superficie del material se limpia por medio de bombardeo con iones por efectos físicos o, según el gas empleado para formar el plasma, también por reacciones químicas. Las impurezas se transforman a su fase gaseosa y se aspiran fuera de la cámara, quedando la superficie ultra limpia, libre de contaminación y preparada para el trabajo con el microscopio electrónico.

La tecnología de limpieza por plasma ofrece mejores resultados en la eliminación de contaminantes (incluso a escala nano) que cualquier otra técnica de limpieza convencional como la utilización de disolventes, con la ventaja adicional de que al no emplear baños químicos, no hay riesgos, contaminación cruzada ni residuos que eliminar.

Diagrama de sistema de limpieza por plasma (Plasma Cleaner)