Recubridores por Sputtering y Evaporadores Térmicos
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En ANAME ofrecemos una completa gama de equipos de recubrimiento por PVD. Disponemos de equipos de sputtering y evaporadores térmicos. Ambas técnicas son muy utilizadas en distintos procesos como son la creación de wafers de semiconductores, células solares, componentes ópticos, muestras de microscopía electrónica (SEM-EBDS), rejillas portamuestras para muestras de microscopía (TEM) y otros muchos ejemplos. Ofrecemos equipos diseñados para cubrir las necesidades de distintos escenarios de aplicación. Así nuestra gama comienza con el modesto SC7620 que se configura como una solución combinada de metalización por sputtering, evaporación térmica y glow discharge. Continúa con la familia basada en la generación Q150 Plus. Un conjunto de soluciones para realizar recubrimientos de metales y carbón basadas en una plataforma común que permite la realización de técnicas de recubrimiento como la metalización por bombardeo ionico en fase gaseosa con metales nobles y metales oxidantes, evaporación térmica de hilo de carbón, evaporación de barra de carbón así como la descarga luminiscente, técnica conocida ambién como glow discharge. |
 Descripción de un proceso de
recubrimiento PVD: Sputtering o pulverización
catódica
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Recubridores para Microscopía Electrónica y Aplicación de Películas Delgadas - La gama
Ofrecemos la gama más completa de recubridores por sputtering y evaporadores de carbón. Basados en la exitosa plataforma Q150 todos los modelos comparten buena parte de la electrónica y mecánica, lo que les permite mantener una relación coste-calidad muy ajustada. El último paso de la evolución viene de la mano de la serie PLUS, en la que se ha dotado a todos los modelos Q de un nuevo chasis, electrónica, software y diversas mejoras que garantizan que la propuesta de Quorum Technologies sigue siendo la opción más versátil, sólida, potente y económica del mercado.
La serie de recubridores Q150 Plus está diseñada para satisfacer todos los requisitos en la preparación de muestras de microscopía electrónica de transmisión y barrido así como en muchas aplicaciones de película delgada. Está disponible en tres formatos: como recubridor por sputtering, evaporador de carbón o ambas técnicas combinadas en un mismo sistema compacto.
Nuestro modelo más potente es el nuevo Q150V Plus. Este equipo ha sido diseñado para trabajar en alto vacio (1 x 10-6 mbar) lo que le permite crear recubrimientos por sputtering de metales con grano muy fino en un medio sin contaminación de O2, N2 o vapor de agua.
El recubridor Q150R Plus es adecuado para la preparación de muestras para W-SEM utilizando metales no oxidantes (nobles) y para la preparación de muestras SEM por evaporación de carbón para su análisis por EDS y WDS.
Para las muestras más grandes, Q300TT Plus (apoyados por bomba turbomolecular) permite el recubrimiento de muestras de gran tamaño con diámetros de hasta 300mm, como obleas, así como el trabajo simultáneo con muchas muestras. Ambas series cuentan con cabezales triples de metalización por sputtering para asegurar la correcta deposición en grandes superficies.
Para la aplicación de película delgada, la serie Q300TD Plus se ha diseñado como sputtering de dos target (blancos) secuencial, permitiendo la deposición consecutiva de dos capas de metal sin necesidad de romper el vacío.
La serie Q150 GB es la versión modular del metalizador / evaporador Q150TES Plus y está diseñado para su integración en cámaras de guantes, manteniendo el sistema de despresurización (bomba de vacio rotatoria y turbobomba molecular) de forma remota, es decir fuera de la cámara para evitar la contaminación del ambiente de ésta.
Completando la gama ofrecemos la serie SC7620, como solución económica y potente. Se trata de un metalizador compacto de pequeño tamaño y bajo coste que puede equipar además una unidad adicional de evaporacoción de fibra de carbón y un cabezal de descarga luminiscente (glow discharge) de forma opcional.
Si quiere comentar con nosotros cual puede ser la solución más adecuada para sus necesidades, no deje de consultarnos en el +34918168095, This email address is being protected from spambots. You need JavaScript enabled to view it. o rellene nuestro formulario de contacto. Nuestro personal técnico estará encantado de ayudarle.
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Evaporadores TérmicosEquipos de sobremesa diseñados principalmente para la evaporación térmica de metales y carbón. El modelo estrella está configurado por la serie K975X/K975S un potente y versatil equipo de evaporación de alto vacio con capacidad para realizar diferentes técnicas de recubrimiento por evaporación térmica y bombardeo catódico. El turboevaporador puede contar con medidor de espesor de la película depositada, diferentes configuraciones para alojar metales de evaporación. Nuestra gama comienza con el modesto por su precio ajustado a cualquier presupuesto SC7620. El equipo cuenta con opciones como metalización por bombardeo catódico (sputtering), evaporación térmica de hilo de carbón y descarga luminiscente (glow discharge). El grueso de la gama lo configura la familia basada en la reconocida plataforma Q150 Plus con posibilidades de realizar recubrimientos por evaporación térmica, metalización por pulverización catódica de metales nobles y oxidantes, descarga luminiscente (glow discharge). Todo sobre una misma plataforma controlada por ordenador, con distintos tamaños de cámara, opciones de alto y bajo vacío así como posibilidad de sistemas modulares para permitir su instegración en sistemas de atmosféra controlada (p.e. cámara de guantes). |
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Metalizadores
por Sputtering
Contamos con una completa gama de recubridores por pulverización
catódica. Desde el pequeño pero potente SC7620 hasta la avanzada
serie Q150V Plus. |